首先，关于运行直线度的测量只需要借用一把精密平尺就可以得出。在测量的时候需要将平尺和位移台的基准面对其，是两者处于平行状态，而且要保证两端的数值是一样的，之后再慢慢移动滑台行程一直到末端。

然后，关于位移台两轴的运行直角度的测量，同样要借助测量工具精密角尺，先将角尺的一边与其中一轴的移动方向平行，然后将另一轴滑到平行轴的中间就可以得出直角度数值。如果想要得出最大误差的话只需要将百分表发在角尺的另一端就可以了。

最后，将位移台的精度进行定位，从零点开始，将位移台往一个方向移动即可。